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公司(sī)基本资料信息
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产品概括
双腕玻璃基板搬(bān)运机器人
负载(zǎi):95KG
动态范围:2300mm
控制柜:DX100
用途(tú):搬运(yùn)、洁净室(shì)
产品详情
大动作范围:*大(dà)搬运(yùn)尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人。
手臂采用(yòng)连杆机构实现高钢性。
采用(yòng)真空(kōng)内传送带驱动实现低(dī)放出气(qì)体性能。
手臂(bì)可内(nèi)置(zhì)基(jī)板传感器用配线。
项目 | 规格 | 备注 | |
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名称 | SEMISTAR-VD95D |
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机型 | XU-RVD1450D6-A10(配传感电缆) |
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构(gòu)造 | 水平(píng)多关(guān)节形(4个自由度) |
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动作范围 | L,R轴(伸缩) | 2300mm |
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S轴(旋转(zhuǎn)) | -170°~+170° |
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U轴(升降) | 150mm |
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动作时间*1 (*高速(sù)度运作(zuò)时) |
L,R轴(伸缩) | 3.2秒(miǎo)以(yǐ)下 | 2300mm伸缩(suō)距离 |
S轴(回转) | 3.8秒以下(xià) | 340deg旋转(zhuǎn)距离(但L,R=0) | |
U轴(升降) | 2.5秒以下 | 150mm升降距(jù)离 | |
重复定位精度*2 | 各(gè)轴±0.3mm | 抓手(shǒu)安装部(bù)分(fèn)中心位置(zhì)时 | |
手臂(bì)抖动精度 | ±0.3mm以下(xià) | 水平方向,抓(zhuā)手安装(zhuāng)部分中心位置时(shí) | |
负载 | 95KG/手(shǒu)臂 | 含抓手重(chóng)量 | |
容许惯性(xìng)力矩(CD2/4) | *大118kg·m2 | 含抓(zhuā)手重(chóng)量,抓手(shǒu)安装部分中心位置时 | |
耐真空度(dù) | 1*10-6Pa |
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本体质量(liàng) | 1500kg |
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适用控制(zhì)柜(guì)式样 | ERDR-VD0095D-A00 | 三相(xiàng)AC200V,3.0kVA |
*1:动作节拍不保(bǎo)证带有基板时搬运速度。由于抓手的形状及抓手的安装(zhuāng)部(bù)分的(de)钢性产生共振时,会影响(xiǎng)动作节拍,请重新设定(dìng)。
*2:依据JIS B8432标准的动(dòng)作重复定位精度。但有(yǒu)无工件时(shí)负载变动(dòng)以及使用速度的(de)差异、温度(dù)变化的影(yǐng)响不考虑在内。
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